西工大新闻网7月13日电（赵若晴）近日，上海交通大学“微米/纳米加工技术国家重点实验室”杨卓青教授应邀至柔性电子研究院（柔性电子前沿科学中心），在启翔楼401会议室为师生作了题为“金属基MEMS惯性开关以及超细圆柱纤维表面3D微加工技术”的学术报告。报告由研究院副院长王学文教授主持，相关教师和研究生参加了本次学术报告。

报告会上，杨卓青教授详细介绍基于非硅表面微加工技术的金属基MEMS惯性开关器件，包括其具体的研发历程和实际应用情况。此外，还介绍了可实现超细圆管/圆柱/毛细管等表面3D微加工的集成制造新技术，该方法有望为各类超细介入/植入式柔性生物医用MEMS器件的集成制造开辟全新的技术途径。

师生就微尺度加工工艺相关问题与杨卓青老师进行了热烈的讨论与交流。本次学术报告会议的开展不仅促进了相关领域研究人员的深入交流，也为柔性电子研究院的同学们对于微尺度加工工艺的深入了解和学习带来了新的启示。

杨卓青，教授、博士生导师，上海交通大学“微米/纳米加工技术国家级重点实验室”研究员，目前任职于上海交通大学电子信息与电气工程学院。长期致力于MEMS惯性开关、柔性纤维/圆管/毛细管等表面的三维MEMS集成制造、PowerMEMS等相关研究。（审核：王学文）